SiC Coated Pancake Susceptor สำหรับ LPE PE3061S 6 "เวเฟอร์ คุณสมบัติผลิตภัณฑ์:
ความเสถียรที่อุณหภูมิสูง: SiC มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูงที่ยอดเยี่ยม โดยคงโครงสร้างและประสิทธิภาพไว้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง
ค่าการนำความร้อนที่โดดเด่น: SIC มีค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมช่วยให้การถ่ายเทความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอเพื่อความรวดเร็วและความร้อน
ความต้านทานการกัดกร่อน: SiC มีเสถียรภาพทางเคมีที่ดีเยี่ยม ต้านทานการกัดกร่อนและการเกิดออกซิเดชันในสภาพแวดล้อมการให้ความร้อนต่างๆ
การกระจายความร้อนแบบสม่ำเสมอ: ผู้ให้บริการเวเฟอร์ที่เคลือบด้วย SIC ให้การกระจายความร้อนสม่ำเสมอทำให้มั่นใจได้ว่าอุณหภูมิทั่วพื้นผิวของเวเฟอร์ในระหว่างการให้ความร้อน
เหมาะสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์: SI epitaxy wafer carrier ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการเติบโตของ SI epitaxy และกระบวนการทำความร้อนที่อุณหภูมิสูงอื่น ๆ
ข้อดีของผลิตภัณฑ์:
ประสิทธิภาพการผลิตที่ได้รับการปรับปรุง: ไวรัสแพนเค้กเคลือบ SIC ช่วยให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอลดเวลาความร้อนและเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.