สินค้า

แขนหุ่นยนต์ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) ของเราได้รับการออกแบบมาสำหรับการจัดการเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ทำจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงแขนหุ่นยนต์นี้มีความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงการกัดกร่อนในพลาสมาและการโจมตีทางเคมีทำให้มั่นใจได้ว่าการทำงานที่เชื่อถือได้ในการเรียกร้องสภาพแวดล้อมในห้องสะอาด ความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยมและความเสถียรของมิติช่วยให้การจัดการเวเฟอร์ที่แม่นยำในขณะที่ลดความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับ MOCVD, epitaxy, การปลูกถ่ายไอออนและแอปพลิเคชันการจัดการเวเฟอร์ที่สำคัญอื่น ๆ เรายินดีต้อนรับคำถามของคุณ

Veteksemicon เชี่ยวชาญในการจัดหาผลิตภัณฑ์เรือเวเฟอร์ควอตซ์ที่กำหนดเองสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ สายผลิตภัณฑ์ของเรารวมถึงเรือแก้วควอตซ์ที่หลอมรวมเข้าด้วยกันเรือกระจายควอตซ์และเรือหลอมควอตซ์ที่ปรับแต่งได้ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการที่มีความแม่นยำสูงเช่นการแพร่กระจายออกซิเดชั่นและ CVD Veteksemicon ยืนยันในการให้บริการที่ครอบคลุมของผลิตภัณฑ์และเทคโนโลยีที่กำหนดเอง รอคอยการปรึกษาหารือเพิ่มเติมของคุณ

เรือเวเฟอร์ Veteksemicon Sic มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการอุณหภูมิสูงที่สำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งทำหน้าที่เป็นผู้ให้บริการที่เชื่อถือได้สำหรับการออกซิเดชั่นการแพร่กระจายและกระบวนการหลอมสำหรับวงจรรวมที่ใช้ซิลิคอน พวกเขายังเก่งในภาคเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สามเหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการเรียกร้องเช่นการเจริญเติบโตของ epitaxial (EPI) และการสะสมไอสารเคมีอินทรีย์ (MOCVD) สำหรับอุปกรณ์พลังงาน SIC และ GAN พวกเขายังสนับสนุนการผลิตอุณหภูมิสูงของเซลล์แสงอาทิตย์ที่มีประสิทธิภาพสูงในอุตสาหกรรมโซลาร์เซลล์ รอคอยการปรึกษาหารือเพิ่มเติมของคุณ

หัวฝักบัวกราไฟท์เคลือบ CVD SIC จาก Veteksemicon เป็นส่วนประกอบประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการสะสมไอสารเคมีเซมิคอนดักเตอร์ (CVD) ผลิตจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและได้รับการป้องกันด้วยสารเคมีการสะสมของไอสารเคมี (CVD) ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) การเคลือบหัวฝักบัวนี้ให้ความทนทานที่โดดเด่นเสถียรภาพความร้อนและความต้านทานต่อก๊าซกระบวนการกัดกร่อน รอคอยการปรึกษาหารือเพิ่มเติมของคุณ

หัวฝักบัวควอตซ์หรือที่รู้จักกันในชื่อแผ่นกระจายก๊าซควอตซ์เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการสะสมฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์เช่น CVD (การสะสมไอสารเคมี), PECVD (CVD ที่เพิ่มขึ้นพลาสม่า) และ ALD ทำจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงส่วนประกอบนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการปนเปื้อนต่ำเป็นพิเศษและความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมช่วยให้การส่งก๊าซที่แม่นยำและการเติบโตของฟิล์มสม่ำเสมอทั่วพื้นผิวเวเฟอร์ รอคอยการปรึกษาหารือเพิ่มเติมของคุณ

วงแหวนกราไฟท์ที่เคลือบด้วย TAC ของเราเป็นส่วนประกอบหลักที่แม่นยำสำหรับการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ พวกเขามีพื้นผิวกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเคลือบด้วยการเคลือบ Tantalum Carbide (TAC) ที่ทนต่อการสึกหรอและเคมี ออกแบบมาสำหรับกระบวนการเรียกร้องเช่นการสะสม epitaxial และการแกะสลักพลาสมาพวกเขามั่นใจได้ว่าการจัดตำแหน่งเวเฟอร์และเสถียรภาพที่แม่นยำควบคุมการปนเปื้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพและยืดอายุการใช้งานขององค์ประกอบอย่างมีนัยสำคัญ Veteksemicon เสนอบริการปรับแต่งเพื่อให้ตรงกับอุปกรณ์และข้อกำหนดกระบวนการของคุณอย่างสมบูรณ์แบบ