ตัวพาเวเฟอร์สำหรับ VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

คุณสมบัติผลิตภัณฑ์:

1. ฐานกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงพร้อมชั้น CVD SiC ที่หนาแน่น
2. ความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีสำหรับ epitaxy LED ที่เสถียร
3. ทนทานต่อ NH₃, HCl และก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนอื่นๆ ที่ใช้ในกระบวนการ
4. การกำจัดอนุภาคต่ำและอายุการใช้งานยาวนาน
5. การออกแบบพ็อกเก็ตสามารถปรับแต่งให้เหมาะกับขนาดเวเฟอร์และแพลตฟอร์มเครื่องปฏิกรณ์ที่แตกต่างกันได้
6. ทำงานได้ดีสำหรับการทำงาน MOCVD ที่อุณหภูมิสูงในระยะยาว

การใช้งาน:
ตัวพาเวเฟอร์เหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายใน LED และ epitaxy เซมิคอนดักเตอร์แบบผสม รวมไปถึง:

• GaN เยื่อบุผิว LED
• Epitaxy LED สีฟ้าเขียว
• การเจริญเติบโตของ LED UV ลึก
• Epitaxy GaN แบบอิง Si
• การผลิตสารกึ่งตัวนำแบบผสมทั่วไป

โซลูชันผู้ให้บริการแบบกำหนดเองเหมาะกับแพลตฟอร์ม LED MOCVD หลายแพลตฟอร์ม เช่น:

• วีโก้ K465i
• วีโก้ K700
• วีโก้ K868
• เอิกซ์ตรอน G4/G5
• A7/ยูนิแมกซ์

ข้อดีทางเทคนิค:

1. การเคลือบ CVD SiCเทคโนโลยีที่ให้ความหนาแน่นและความบริสุทธิ์ที่ดี
2. การเปลี่ยนแปลงความหนาของชั้นเคลือบที่อยู่ภายใน ±10 μm – ช่วยให้ประสิทธิภาพการระบายความร้อนคงที่
3. การตัดเฉือน CNC ด้วยความแม่นยำถึง 3 μm เพื่อความพอดีของแผ่นเวเฟอร์ที่ดีและความเสถียรในการหมุน
4. สารเคลือบเกาะติดได้ดีและต้านทานการแตกร้าวหลังจากรอบ MOCVD ที่อุณหภูมิสูงซ้ำๆ
5. จัดการกับ NH₃, HCl และสภาพแวดล้อมที่เยื่อบุผิวที่รุนแรงอื่นๆ ได้โดยไม่มีปัญหา
6. การสร้างอนุภาคต่ำและพื้นผิวที่สะอาดเพื่อรองรับผลผลิตสูงเยื่อบุผิว LED
7. สามารถเคลือบขนาดใหญ่หรือขนาดที่กำหนดเองสำหรับแพลตฟอร์มเครื่องปฏิกรณ์และเค้าโครงเวเฟอร์ที่แตกต่างกัน
8. ประสบการณ์อันยาวนานกับกราไฟท์แบบกำหนดเองและชิ้นส่วนเคลือบ SiCสำหรับ LED และ epitaxy สารกึ่งตัวนำแบบผสม

คำถามที่พบบ่อย:
1. ผู้ให้บริการเวเฟอร์ทำหน้าที่อะไรกระทรวงสาธารณสุขเยื่อบุผิว LED?

ตอบ: โดยจะยึดและหมุนเวเฟอร์ภายในเครื่องปฏิกรณ์ MOCVD และช่วยรักษาอุณหภูมิให้คงที่ในระหว่างการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว

2. เหตุใดจึงต้องใช้ตัวพาเวเฟอร์กราไฟท์เคลือบ SiC สำหรับ กระทรวงสาธารณสุข

ตอบ:การเคลือบ CVD SiCให้ความต้านทานการกัดกร่อน เสถียรภาพทางความร้อน และความทนทานที่ดีขึ้น นอกจากนี้ยังช่วยลดการปนเปื้อนของอนุภาคในเยื่อบุผิวที่มีอุณหภูมิสูงอีกด้วย

3. Vetek Semiconductor ผลิตแผ่นเวเฟอร์แบบกำหนดเองหรือไม่
ก. ใช่. เราสามารถออกแบบตัวพาหะแบบกำหนดเองตามแพลตฟอร์มเครื่องปฏิกรณ์ ขนาดเวเฟอร์ รูปแบบกระเป๋า และความต้องการกระบวนการอื่นๆ