ตัวพาเวเฟอร์สำหรับ VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Vetek Semiconductor ผลิตแผ่นเวเฟอร์สำหรับระบบ VEECO MOCVD ซึ่งสร้างขึ้นโดยเฉพาะสำหรับงาน LED epitaxy เช่น GaN LED, LED สีน้ำเงิน-เขียว และการเติบโตของ LED UV แบบลึก ตัวพาเหล่านี้เริ่มต้นด้วยกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและได้รับการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) CVD ที่มีความหนาแน่นสูง การรวมกันดังกล่าวสามารถทนทานได้ดีภายใต้อุณหภูมิสูงที่คุณเห็นใน MOCVD ซึ่งมีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดี ทนต่อการกัดกร่อน และการเคลือบมีอายุการใช้งานยาวนาน