แหวนสามกลีบเคลือบ TaC

Vetek Semiconductor เป็นผู้ผลิตแหวนและซัพพลายเออร์ที่เคลือบด้วย TAC TAC แบบสามปีที่ใช้ในการเคลือบวงแหวน TAC สามแผ่นใช้ในระบบ Aixtron G10-leposition สำหรับสารกึ่งตัวนำผสม G10-GAN 150/200 มม. แอปพลิเคชัน

การเคลือบ TaC ของ VeTek Semiconductor เป็นวัสดุทนอุณหภูมิสูงรุ่นใหม่ที่มีเสถียรภาพที่อุณหภูมิสูงได้ดีกว่า SiC เนื่องจากเป็นสารเคลือบที่ทนต่อการกัดกร่อน เคลือบต้านทานออกซิเดชัน เคลือบต้านทานการสึกหรอ สามารถใช้ในสภาพแวดล้อมที่สูงกว่า 2000 ℃ ใช้กันอย่างแพร่หลายใน ชิ้นส่วนปลายร้อนอุณหภูมิสูงพิเศษการบินและอวกาศรุ่นที่สามของการเติบโตของผลึกเดี่ยวเซมิคอนดักเตอร์และสาขาอื่น ๆ

คุณสมบัติผลิตภัณฑ์:

1. ความบริสุทธิ์สูงเนื้อหาเจือปน <5ppm

2. ความต้านทานอุณหภูมิสูงความต้านทานการกัดกร่อนความหนาแน่นสูงความหนาแน่นสูง

3. เป็นสารเฉื่อยทางเคมีกับแอมโมเนีย ไฮโดรเจน ไซเลน และซิลิกอนที่อุณหภูมิสูง และมีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดี

4. ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนสามารถเร่งวงจรการทำงานให้เร็วขึ้น

5. การยึดเกาะของกราไฟท์ที่แข็งแกร่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานที่ยาวนานและไม่มีการเคลือบหลุดร่อน

6. ความคลาดเคลื่อนมิติที่เข้มงวด

แอปพลิเคชั่นหลัก:

1. การเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว

2. การเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว

3. การเบี่ยงเบนการกัดกร่อนที่อุณหภูมิสูง

4. หัวฉีดที่ทนต่ออุณหภูมิและออกซิเดชันสูง

5. ใบพัดกังหันแก๊ส

พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์ของแหวนสามแผ่นเคลือบ TAC

เปรียบเทียบร้านผลิตเซมิคอนดักเตอร์：：