เรือเวเฟอร์ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง

เรือเวเฟอร์ความบริสุทธิ์สูงของ Vetek Semiconductor ทำจาก Quartz บริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษซึ่งมีลักษณะของปริมาณไฮดรอกซิลต่ำความบริสุทธิ์สูงและความต้านทานอุณหภูมิสูง วัสดุนี้ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นวัสดุสำหรับเตาเผาและส่วนประกอบเตาเผา CVD ในฐานะที่เป็นภาชนะสำหรับพกเวเฟอร์ซิลิกอนเวเฟอร์ความบริสุทธิ์สูงของเรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในเซมิคอนดักเตอร์, เซลล์แสงอาทิตย์, สารเคมีและสาขาอื่น ๆ

สถานการณ์แอปพลิเคชัน

ประการแรกคือสนามเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการบำบัดความร้อนของเวเฟอร์มีความสำคัญมาก รวมถึงการเกิดออกซิเดชันด้วยความร้อน การแพร่กระจาย การหลอม ฯลฯ ด้วยกระบวนการบำบัดความร้อน เราได้ให้คุณลักษณะใหม่แก่เวเฟอร์

ท่อแกนเตาหลอมแบบแบตช์ใช้สำหรับกระบวนการแปรรูปแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น ออกซิเดชันด้วยความร้อน การแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูง การอบอ่อน และการสะสมฟิล์มบาง เตาให้ความร้อนแบบแบตช์ส่วนใหญ่จะใช้เพื่อให้ความร้อนแก่ตัวเตาด้วยขดลวดเพื่อให้การรักษาความร้อนเสร็จสมบูรณ์ ตามโครงสร้างการทำงานที่แตกต่างกัน ท่อแกนเตาแบบแบทช์สามารถแบ่งออกเป็นเตาแนวนอนและเตาแนวตั้ง:

(1) เรือเวเฟอร์ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงของเตาเผาแนวนอนถูกวางไว้ในแนวนอนดังนั้นจึงเรียกว่าเตาเผาแนวนอน

ในกระบวนการบำบัดความร้อนเวเฟอร์จะถูกโหลดบนเรือเวเฟอร์ความบริสุทธิ์สูงส่งไปยังหลอดเตาควอตซ์ค่อยๆและเวเฟอร์จะถูกวางไว้ในเขตอุณหภูมิคงที่สำหรับการประมวลผล หลังจากรอให้กระบวนการเสร็จสมบูรณ์เวเฟอร์ที่ใช้เรือควอตซ์จะถูกดึงออกมาอย่างช้าๆจากเตาควอตซ์เพื่อป้องกันไม่ให้เวเฟอร์เสียหายเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิกะทันหัน เตาเผาแนวนอนใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการแพร่กระจายของวงจรรวมที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์น้อยกว่า 200 มม. 

ข้อดีของเตาเผาแนวนอนเป็นกระบวนการที่เรียบง่ายความสม่ำเสมอระหว่างเวเฟอร์และความสามารถในการประมวลผลเวเฟอร์หลายแห่งในเวลาเดียวกัน ข้อเสียคือความเร็วความร้อนช้าขนาดอุปกรณ์ขนาดใหญ่ความยากในระบบอัตโนมัติและการเข้าสู่อากาศภายนอกง่ายเมื่อโหลดและขนเวเฟอร์

(2) เรือเวเฟอร์ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงของเตาแนวตั้งถูกวางในแนวตั้ง ดังนั้นจึงเรียกว่าเตาแนวตั้ง

เวเฟอร์ถูกบรรจุไว้บนหอคอยควอทซ์ และค่อยๆ ลอยขึ้นไปยังท่อเตาควอทซ์เพื่อให้ความร้อน ในระหว่างกระบวนการทำความร้อน เรือเวเฟอร์ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงจะหมุนช้าๆ เพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ได้รับความร้อนอย่างสม่ำเสมอ หลังจากการประมวลผล หอคอยควอทซ์จะค่อยๆ ลดระดับลงเพื่อหลีกเลี่ยงการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่อาจทำให้เกิดความเสียหายกับแผ่นเวเฟอร์ เตาแนวตั้งส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการวงจรรวมของเวเฟอร์เส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม. และ 300 มม. เทคโนโลยีหลักของเตาเผาแนวตั้งอยู่ที่การควบคุมภาคสนามอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง การควบคุมอนุภาค การควบคุมไมโครออกซิเจนในสภาพแวดล้อมระดับไมโคร และการใช้มอเตอร์ ข้อดีของเตาเผาแนวตั้งคือชั้นออกไซด์ธรรมชาติบางๆ มีความสม่ำเสมอที่ดี ระบบอัตโนมัติที่ง่ายกว่า ใช้อุปกรณ์ขนาดเล็ก และการประมวลผลเป็นชุด ข้อเสียคือความเร็วความร้อนช้า

ในสนามไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ กระบวนการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ต้องใช้เรือควอทซ์เพื่อขนส่งและขนส่งแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนในกระบวนการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูง การบำบัดที่อุณหภูมิสูงในบรรยากาศไนโตรเจน ออกซิเจน หรือก๊าซเฉื่อยที่มีความบริสุทธิ์สูง เช่น การแพร่กระจายของฟอสฟอรัสหรือการแพร่กระจายของโบรอน เป็นขั้นตอนสำคัญในกระบวนการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ จุดประสงค์คือเพื่อสร้างจุดเชื่อมต่อ PN บนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน

เรือควอตซ์ได้ออกแบบสล็อตภายในเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ซิลิคอนรักษาตำแหน่งที่แน่นอนในระหว่างกระบวนการแพร่กระจายอุณหภูมิสูงและร้อนเท่ากัน เนื่องจากวัสดุควอตซ์มีความต้านทานอุณหภูมิสูงและความเสถียรทางเคมีที่ดีจึงไม่ก่อให้เกิดมลพิษจากเวเฟอร์ซิลิคอนซึ่งเอื้อต่อการรักษาความสะอาดของสภาพแวดล้อมการผลิตสูง

ในฐานะผู้ริเริ่มและเป็นผู้นำในเวเฟอร์ของจีนใช้ตลาดเรือควอตซ์ไม่ว่าคุณจะมีส่วนร่วมในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์หรืออุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ตราบใดที่คุณต้องการเรือเวเฟอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูง สำหรับคุณตามความต้องการของคุณ

เวเทค เซมิคอนดักเตอร์ ร้านค้าสินค้า: