Veeco Mocvd Providence

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์veeco mocvdWafer sensceptor เป็นส่วนประกอบที่สำคัญซึ่งออกแบบอย่างพิถีพิถันโดยใช้กราไฟท์ ultrapure กับ aการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)- นี้การเคลือบ SICให้ประโยชน์มากมายโดยเฉพาะอย่างยิ่งที่เปิดใช้งานการถ่ายโอนความร้อนที่มีประสิทธิภาพไปยังสารตั้งต้น การบรรลุการกระจายความร้อนที่ดีที่สุดในพื้นผิวเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการควบคุมอุณหภูมิสม่ำเสมอทำให้มั่นใจได้ว่าการสะสมแบบฟิล์มบางคุณภาพสูงซึ่งมีความสำคัญในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

เมทริกซ์ของคุณสมบัติวัสดุ

ตัวบ่งชี้สำคัญ Vetek Standard Solutions ดั้งเดิม

ความบริสุทธิ์ของวัสดุพื้นฐาน 6N กราไฟท์ขนาด 5N

ระดับการจับคู่ CTE (25-1400 ℃) Δα≤0.3×10⁻⁶/ K Δα≥1.2×10⁻⁶/ K

การนำความร้อน @800 ℃ 110 w/m · k 85 w/m · k

ความขรุขระพื้นผิว (RA) ≤0.1μm≥0.5μm

ความทนทานต่อกรด (pH = 1@80 ℃) 1500 รอบ 300 รอบ

การสร้างความได้เปรียบหลัก

นวัตกรรมการจัดการความร้อน

เทคนิคการจับคู่อะตอม CTE

สารตั้งต้นของญี่ปุ่น Toyo Carbon Carbon/SGL + การเคลือบ SIC ไล่ระดับสี

ความเครียดวัฏจักรความร้อนลดลง 82% (วัด 1,400 ℃↔rt 500 รอบโดยไม่ต้องแคร็ก)

การออกแบบสนามความร้อนอัจฉริยะ

โครงสร้างการชดเชยอุณหภูมิ 12 โซน: บรรลุ± 0.5 ℃ความสม่ำเสมอบนพื้นผิวของเวเฟอร์φ200mm

การตอบสนองทางความร้อนแบบไดนามิก: การไล่ระดับอุณหภูมิ≤1.2℃/cm ที่อัตราการทำความร้อน 5 ℃/s

ระบบป้องกันสารเคมี
อุปสรรคคอมโพสิตสาม

ชั้นป้องกันหลักของ SIC 50μm

Nanotac Transition Layer (ไม่บังคับ)

ความหนาแน่นของการแทรกซึมของก๊าซ

ตรวจสอบโดย ASTM G31-21:

อัตราการกัดกร่อนฐาน CL <0.003 มม./ปี

NH3 เปิดเผยเป็นเวลา 1,000 ชม. โดยไม่มีการกัดกร่อนของเมล็ดข้าว

ระบบการผลิตอัจฉริยะ

การประมวลผลคู่ดิจิตอล

ศูนย์เครื่องจักรกลห้าแกน: ความแม่นยำของตำแหน่ง±1.5μm

การตรวจสอบการสแกน 3 มิติออนไลน์: การตรวจสอบขนาดเต็ม 100% (ตาม ASME Y14.5)

การนำเสนอมูลค่าตามสถานการณ์

การผลิตมวลเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม

แอปพลิเคชันสถานการณ์สถานการณ์พารามิเตอร์ผลประโยชน์ของลูกค้า

Gan HEMT 6 นิ้ว /150μm epitaxial ความหนาแน่นของความหนาแน่นของก๊าซอิเล็กตรอนสองมิติ <2%

SIC MOSFET C การเติมความสม่ำเสมอ± 3% เบี่ยงเบนแรงดันไฟฟ้าเกณฑ์ลดลง 40%

ความสม่ำเสมอของความยาวคลื่น Micro LED ± 1.2nm Chip Bin เพิ่มขึ้น 15%

การเพิ่มประสิทธิภาพต้นทุนการบำรุงรักษา

ระยะเวลาการทำความสะอาดจะขยายออกไป 3 ครั้ง: HF: HNO ₃ = 1: 3 รองรับการทำความสะอาดความเข้มสูงสูง

ชิ้นส่วนอะไหล่ระบบการทำนายอายุการใช้งาน: ความแม่นยำของอัลกอริทึม AI ที่± 5%

Vetek Semiconductor Veoeco MOCVD Sensceptor Shops: