ชิ้นส่วนอะไหล่ TAC Coating

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์แผ่นเคลือบ TACเป็นวัสดุพิเศษที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในไฟล์เซมิคอนดักเตอร์กระบวนการผลิต เมื่อรวมกับความแข็งและความต้านทานการสึกหรอสูงความต้านทานอุณหภูมิสูงความต้านทานการกัดกร่อนสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำและการนำความร้อนที่ดีแผ่นเคลือบ TAC มีบทบาทที่ไม่สามารถถูกแทนที่ได้ในการเชื่อมโยงของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์หลายครั้ง

โดยทั่วไปแอปพลิเคชันของแผ่นเคลือบ TACในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์มีดังนี้:

 สารตั้งต้นการเติบโตของ CVD/ALD: ความต้านทานอุณหภูมิสูงความเสถียรของสารเคมีและค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำของแผ่นเคลือบ TAC ทำให้เป็นพื้นผิวการเจริญเติบโต CVD/ALD ในอุดมคติ มันสามารถให้สภาพแวดล้อมการเติบโตที่มั่นคงเพื่อให้แน่ใจว่ามีความสม่ำเสมอและความหนาแน่นของภาพยนตร์

 แผ่นหน้ากากแกะสลัก: ความแข็งและความต้านทานการกัดกร่อนสูงของแผ่นเคลือบ TAC ช่วยให้พวกเขาสามารถทนต่อกระบวนการพลังงานสูงเช่นการแกะสลักพลาสมาเช่นแผ่นหน้ากากแกะสลักปกป้องฟิล์มพื้นฐาน

 CMP polishing pad: ความต้านทานการสึกหรอและค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำของแผ่นเคลือบ TAC ทำให้วัสดุที่เหมาะสำหรับแผ่นขัด CMP ซึ่งสามารถกำจัดอนุภาคและข้อบกพร่องบนพื้นผิวของฟิล์มได้อย่างมีประสิทธิภาพ

 หลอดเตาอุณหภูมิสูง: ความต้านทานอุณหภูมิสูงและความต้านทานการกัดกร่อนของแผ่นเคลือบ TAC ช่วยให้สามารถใช้เป็นท่อเตาในเตาเผาอุณหภูมิสูงสำหรับการหลอมอุณหภูมิสูงการแพร่กระจายและกระบวนการอื่น ๆ

พารามิเตอร์ทางเทคนิคการเคลือบ CVD TAC：

Vetek Semiconductor TAC Coating Part Prots Products Shops ร้านค้า：