สินค้า
สินค้า
ชิ้นส่วนอะไหล่ TAC Coating
  • ชิ้นส่วนอะไหล่ TAC Coatingชิ้นส่วนอะไหล่ TAC Coating

ชิ้นส่วนอะไหล่ TAC Coating

การเคลือบ TAC ส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการเช่นซิลิกอนคาร์ไบด์การเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว (วิธี PVT) ดิสก์ epitaxial (รวมถึง silicon carbide epitaxy, epitaxy LED) ฯลฯ รวมกับความเสถียรในระยะยาวของแผ่นเคลือบ TAC เราหวังว่าคุณจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของเรา

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์แผ่นเคลือบ TACเป็นวัสดุพิเศษที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในไฟล์เซมิคอนดักเตอร์กระบวนการผลิต เมื่อรวมกับความแข็งและความต้านทานการสึกหรอสูงความต้านทานอุณหภูมิสูงความต้านทานการกัดกร่อนสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำและการนำความร้อนที่ดีแผ่นเคลือบ TAC มีบทบาทที่ไม่สามารถถูกแทนที่ได้ในการเชื่อมโยงของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์หลายครั้ง


โดยทั่วไปแอปพลิเคชันของแผ่นเคลือบ TACในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์มีดังนี้:


 สารตั้งต้นการเติบโตของ CVD/ALD: ความต้านทานอุณหภูมิสูงความเสถียรของสารเคมีและค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำของแผ่นเคลือบ TAC ทำให้เป็นพื้นผิวการเจริญเติบโต CVD/ALD ในอุดมคติ มันสามารถให้สภาพแวดล้อมการเติบโตที่มั่นคงเพื่อให้แน่ใจว่ามีความสม่ำเสมอและความหนาแน่นของภาพยนตร์

 แผ่นหน้ากากแกะสลัก: ความแข็งและความต้านทานการกัดกร่อนสูงของแผ่นเคลือบ TAC ช่วยให้พวกเขาสามารถทนต่อกระบวนการพลังงานสูงเช่นการแกะสลักพลาสมาเช่นแผ่นหน้ากากแกะสลักปกป้องฟิล์มพื้นฐาน

 CMP polishing pad: ความต้านทานการสึกหรอและค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำของแผ่นเคลือบ TAC ทำให้วัสดุที่เหมาะสำหรับแผ่นขัด CMP ซึ่งสามารถกำจัดอนุภาคและข้อบกพร่องบนพื้นผิวของฟิล์มได้อย่างมีประสิทธิภาพ

 หลอดเตาอุณหภูมิสูง: ความต้านทานอุณหภูมิสูงและความต้านทานการกัดกร่อนของแผ่นเคลือบ TAC ช่วยให้สามารถใช้เป็นท่อเตาในเตาเผาอุณหภูมิสูงสำหรับการหลอมอุณหภูมิสูงการแพร่กระจายและกระบวนการอื่น ๆ


พารามิเตอร์ทางเทคนิคการเคลือบ CVD TAC

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SIC
คุณสมบัติ
ค่าทั่วไป
โครงสร้างผลึก FCC βเฟส polycrystalline ส่วนใหญ่ (111) มุ่งเน้น
ความหนาแน่นการเคลือบ CVD SIC
3.21 g/cm³
ความแข็งเคลือบ
2500 Vickers Hardness (500 กรัมโหลด)
ขนาดเกรน
2 ~ 10 มม.
ความบริสุทธิ์ทางเคมี
99.99995%
ความจุความร้อน
640 J ·กก.-1· K-1
อุณหภูมิระเหิด
2700 ℃
ความแข็งแรงของการโค้งงอ
415 MPa RT 4 จุด
โมดูลัสของ Young
430 GPA 4PT BEND, 1300 ℃
การนำความร้อน
300W · m-1· K-1
การขยายตัวทางความร้อน (CTE)
4.5 × 10-6K-1

Vetek Semiconductor TAC Coating Part Prots Products Shops ร้านค้า

TaC Coating spare part products shops

แท็กยอดนิยม: ชิ้นส่วนอะไหล่ TAC Coating
ส่งคำถาม
ข้อมูลติดต่อ
  • ที่อยู่

    Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, มณฑลเจ้อเจียง, จีน, จีน

  • โทร

    +86-18069220752

  • อีเมล

    anny@veteksemi.com

หากมีข้อสงสัยเกี่ยวกับการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ กราไฟท์พิเศษ หรือรายการราคา โปรดฝากอีเมลของคุณมาหาเรา แล้วเราจะติดต่อกลับภายใน 24 ชั่วโมง
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept