Sic เคลือบ UV LED Deep Deep

SIC เคลือบ UV LED Deep Deep เป็นองค์ประกอบหลักของแบริ่งในMOCVD (การสะสมไอสารเคมีอินทรีย์)- ไวรัสส่งผลกระทบโดยตรงต่อความสม่ำเสมอการควบคุมความหนาและคุณภาพของวัสดุของการเจริญเติบโตของ epitaxial LED UV ลึกโดยเฉพาะอย่างยิ่งในการเติบโตของชั้น epitaxial อลูมิเนียม (ALN) ที่มีปริมาณอลูมิเนียมสูงการออกแบบและประสิทธิภาพของไวต่อความไว

SIC ที่เคลือบด้วยรังสี UV LED ลึกได้รับการปรับให้เหมาะสมเป็นพิเศษสำหรับ epitaxy LED UV ลึกและได้รับการออกแบบอย่างแม่นยำตามลักษณะความร้อนเชิงกลและสารเคมีเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดของกระบวนการที่เข้มงวด

Vetek Semiconductor ใช้เทคโนโลยีการประมวลผลขั้นสูงเพื่อให้แน่ใจว่าการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอของไวรัสในช่วงอุณหภูมิการทำงานหลีกเลี่ยงการเติบโตที่ไม่สม่ำเสมอของชั้น epitaxial ที่เกิดจากการไล่ระดับอุณหภูมิ การประมวลผลที่แม่นยำควบคุมความขรุขระของพื้นผิวลดการปนเปื้อนของอนุภาคและปรับปรุงประสิทธิภาพการนำความร้อนของการสัมผัสพื้นผิวเวเฟอร์

Vetek Semiconductor ใช้ SGL Graphite เป็นวัสดุและพื้นผิวได้รับการรักษาด้วยCVD SICซึ่งสามารถทนต่อ NH3, HCL และบรรยากาศอุณหภูมิสูงเป็นเวลานาน SIC ของ Vetek Semiconductor เคลือบ UV LED Deep Vexceptor ตรงกับค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวของความร้อนของเวเฟอร์ epitaxial ALN/GAN ลดเวเฟอร์วาเฟอร์หรือการแคร็กที่เกิดจากความเครียดจากความร้อนในระหว่างกระบวนการ

สิ่งสำคัญที่สุดคือ SIC ของ Vetek Semiconductor ที่เคลือบด้วย UV LED Deep LED นั้นปรับให้เข้ากับอุปกรณ์ MOCVD หลักได้อย่างสมบูรณ์แบบ (รวมถึง VEECO K465I, EPIK 700, Aixtron Crius ฯลฯ ) รองรับบริการที่กำหนดเองสำหรับขนาดเวเฟอร์ (2 ~ 8 นิ้ว) การออกแบบสล็อตเวเฟอร์อุณหภูมิกระบวนการและข้อกำหนดอื่น ๆ

สถานการณ์แอปพลิเคชัน:

● การเตรียม UV LED ลึก- ใช้ได้กับกระบวนการ epitaxial ของอุปกรณ์ในวงดนตรีที่ต่ำกว่า 260 นาโนเมตร (การฆ่าเชื้อ UV-C การฆ่าเชื้อและฟิลด์อื่น ๆ )

● epitaxy เซมิคอนดักเตอร์ไนไตรด์- ใช้สำหรับการเตรียม epitaxial ของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์เช่นแกลเลียมไนไตรด์ (GAN) และอลูมิเนียมไนไตรด์ (ALN)

● การทดลอง epitaxial ระดับการวิจัย- Epitaxy UV ลึกและการทดลองพัฒนาวัสดุใหม่ในมหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัย

ด้วยการสนับสนุนของทีมงานด้านเทคนิคที่แข็งแกร่ง Vetek Semiconductor สามารถพัฒนาผู้อ่อนแอด้วยข้อกำหนดและฟังก์ชั่นที่ไม่ซ้ำกันตามความต้องการของลูกค้าสนับสนุนกระบวนการผลิตที่เฉพาะเจาะจงและให้บริการระยะยาว

ข้อมูล SEM ของฟิล์มเคลือบ CVD SIC:

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SIC:

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์SIC เคลือบ UV Deep LED LED Sensceptor Product Shops: