หัวจับไฟฟ้าสถิตอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) เซรามิก

1.ข้อดี

• เซรามิก AlN ความบริสุทธิ์สูงที่มีค่าการนำความร้อนสูงถึง ~180 W/m·K เพื่อการถ่ายเทความร้อนที่มีประสิทธิภาพและความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ

• ฉนวนไฟฟ้าที่แข็งแกร่งและความต้านทานปริมาตรสูง รองรับการจับยึดที่เสถียรที่ 1–3 kV (มีแรงดันไฟฟ้าสูงกว่า)

• วัสดุชั้นอิเล็กทริกแบบกำหนดเองและโครงร่างอิเล็กโทรด: คูลอมบ์หรือ Johnsen–Rahbek (JR); เดี่ยวหรือหลายโซน

• ประสิทธิภาพการแคลมป์และดีแคลมป์ที่รวดเร็ว โดยทั่วไปจะใช้เวลาไม่ถึง 0.1 วินาที

• โครงสร้างจุลภาคของรอยบุ๋มของพื้นผิวมีเส้นผ่านศูนย์กลาง ~300 μm ช่วยลดพื้นที่สัมผัสให้เหลือเพียง ~1%

• ความสามารถด้านความเรียบสูง ความเรียบโดยรวมทั่วไปตามลำดับ 0.5–3 μm PV สำหรับแพลตฟอร์มคลาส 300 มม

• โครงสร้างจุลภาคหนาแน่นพร้อมการดูดซึมน้ำเกือบเป็นศูนย์ และทนทานต่อสารเคมีที่ดีสำหรับสภาพแวดล้อมกระบวนการ

2.การใช้งานทั่วไป

หัวจับไฟฟ้าสถิตเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ใช้ในขั้นตอนกระบวนการที่ต้องใช้ทั้งการยึดเวเฟอร์ที่ปลอดภัยและพฤติกรรมทางความร้อนที่ควบคุม:

• การกัดกรดพลาสมาแบบแห้ง (ICP / RIE) และกระบวนการในห้องที่เกี่ยวข้อง

• CVD, PEALD, ALD ความร้อน และขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบางอื่นๆ

• โมดูลกระบวนการหลอมและความร้อนที่ต้องการอุณหภูมิเวเฟอร์สม่ำเสมอ

• ขั้นตอนการตรวจสอบ มาตรวิทยา และความแม่นยำ ซึ่งอนุภาคต่ำและการจับยึดที่มั่นคงถือเป็นสิ่งสำคัญ

3.เกรดวัสดุ AlN – คุณสมบัติทั่วไป

VeTek นำเสนอเกรดอะลูมิเนียมไนไตรด์หลายเกรดเพื่อปรับสมดุลการนำความร้อน ความแข็งแรงเชิงกล และต้นทุนสำหรับการออกแบบ ESC:

หน่วย: การนำความร้อนในหน่วย W/(m·K); ความเป็นฉนวนในหน่วย kV/mm; ความต้านทานต่อปริมาตรเป็น Ω·cm (25 °C); ค่าคงที่ไดอิเล็กทริกที่ 1 MHz ค่าเป็นเรื่องปกติและอาจแตกต่างกันไปตามกระบวนการและรูปทรงของชิ้นส่วน

4.พารามิเตอร์การออกแบบ ESC ทั่วไป

5.ทำไมต้องชูse VeTek AlN หัวจับไฟฟ้าสถิต?

VeTek Semiconductor ผสานรวมเซรามิก AlN ขั้นสูงเข้ากับการผลิต ESC ที่มีความแม่นยำสำหรับลูกค้าเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการทั้งประสิทธิภาพการระบายความร้อนและการหนีบที่เชื่อถือได้:

• เกรด AlN หลายเกรดที่มีค่าการนำความร้อนตั้งแต่ ~90 ถึง ~180 W/m·K เพื่อให้ตรงกับงบประมาณการระบายความร้อนของกระบวนการ

• การออกแบบอิเล็กโทรดและอิเล็กทริกที่ยืดหยุ่นสำหรับลักษณะการจับยึดของคูลอมบ์หรือ JR

• การควบคุมความเรียบ โครงสร้างจุลภาคของพื้นผิว และประสิทธิภาพของฉนวนไฟฟ้าอย่างเข้มงวด

• การสนับสนุนตลอดอายุการใช้งานเต็มรูปแบบ: การออกแบบ การสร้างใหม่ และการตกแต่งใหม่หลายระดับ

สำหรับเครื่องมือกัดกรด การสะสม และความร้อนที่ต้องอาศัยอุณหภูมิเวเฟอร์สม่ำเสมอและการจับยึดที่สะอาดและทำซ้ำได้ หัวจับไฟฟ้าสถิตเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ VeTek มอบแพลตฟอร์มเซรามิกประสิทธิภาพสูงที่ได้รับการสนับสนุนโดยการสนับสนุนทางวิศวกรรมที่เน้นการใช้งาน