ตัวรับ Aixtron MOCVD

The Susceptors ผลิตโดยวีเทค เซมิคอนดักเตอร์ผลิตจากซับสเตรตกราไฟท์และวัสดุเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ด้วยความต้านทานการสึกหรอ ความต้านทานการกัดกร่อน และความแข็งที่สูงมากของวัสดุ SiC จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในสภาพแวดล้อมกระบวนการที่รุนแรง ดังนั้น Susceptors ที่ผลิตโดย Vetek Semiconductor จึงสามารถนำมาใช้โดยตรงในกระบวนการ MOCVD ที่อุณหภูมิสูงโดยไม่ต้องมีการเตรียมพื้นผิวเพิ่มเติม

ตัวรับเป็นส่วนประกอบสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุปกรณ์ MOCVD สำหรับกระบวนการสะสมฟิล์มบาง บทบาทหลักของAixtron: ดังนั้นการสนับสนุนในกระบวนการ MOCVD คือการบรรทุกเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เพื่อให้ฟิล์มบางมีการสะสมที่สม่ำเสมอและมีคุณภาพสูง โดยให้การกระจายความร้อนและสภาพแวดล้อมในการทำปฏิกิริยาที่สม่ำเสมอ ส่งผลให้ได้การผลิตฟิล์มบางคุณภาพสูง

ผู้สนับสนุน Aixtron MOCVDโดยปกติจะใช้เพื่อรองรับและแก้ไขฐานของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เพื่อให้มั่นใจในความเสถียรของเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการสะสม ในเวลาเดียวกัน การเคลือบผิวของ Aixtron MOCVD Susceptor ทำจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ซึ่งเป็นวัสดุนำความร้อนสูง การเคลือบ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ถึงอุณหภูมิที่สม่ำเสมอบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ และการทำความร้อนที่สม่ำเสมอถือเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการได้ฟิล์มคุณภาพสูง

นอกจากนี้ผู้สนับสนุน Aixtron MOCVDเราผลิตมีบทบาทมากขึ้นในการควบคุมการไหลและการกระจายของก๊าซปฏิกิริยาผ่านการออกแบบวัสดุที่เหมาะสม หลีกเลี่ยงกระแสวนและการไล่ระดับสีอุณหภูมิเพื่อให้ได้การสะสมฟิล์มสม่ำเสมอ

ที่สำคัญกว่านั้นในกระบวนการ MOCVD วัสดุเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) มีความต้านทานการกัดกร่อนดังนั้นวีเทค เซมิคอนดักเตอร์'sผู้สนับสนุน Aixtron MOCVDยังสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและก๊าซกัดกร่อน

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ SIC:

ร้านเรือเวเฟอร์ VeTek Semiconductor:

ภาพรวมของห่วงโซ่อุตสาหกรรมชิปชิปเซมิคอนดักเตอร์: