รองรับการเคลือบ Tantalum Carbide

ฟังก์ชั่นหลักของ Vetek Semiconductorการเคลือบ Tantalum Carbide (TAC)การสนับสนุนคือการปรับปรุงไฟล์ความต้านทานความร้อนความต้านทานการสึกหรอและความต้านทานการกัดกร่อนของสารตั้งต้นโดยการเคลือบชั้นของการเคลือบ Tantalum Carbide เพื่อปรับปรุงความแม่นยำและความน่าเชื่อถือของกระบวนการและยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบ มันเป็นผลิตภัณฑ์เคลือบผิวประสิทธิภาพสูงที่ใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์

Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Suppor มีความแข็ง Mohs เกือบ 9 ~ 10 รองจากเพชรเท่านั้น มันมีความต้านทานการสึกหรอที่แข็งแกร่งมากและสามารถต้านทานการสึกหรอของพื้นผิวและผลกระทบในระหว่างการประมวลผลได้อย่างมีประสิทธิภาพจึงขยายอายุการใช้งานของส่วนประกอบอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ เมื่อรวมกับจุดหลอมเหลวที่สูงประมาณ 3880 ° C มันมักจะใช้สำหรับการเคลือบส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เช่นการเคลือบผิวของโครงสร้างสนับสนุนอุปกรณ์บำบัดความร้อนห้องหรือปะเก็นในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เพื่อเพิ่มความต้านทานการสึกหรอและความต้านทานอุณหภูมิสูง

เนื่องจากจุดหลอมละลายที่สูงมากของคาร์ไบด์แทนทาลัมประมาณ 3880 ° C ในกระบวนการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์เช่นการสะสมไอสารเคมี (CVD)และการสะสมไอทางกายภาพ (PVD)การเคลือบ TAC ที่มีความต้านทานอุณหภูมิสูงและความต้านทานการกัดกร่อนทางเคมีที่แข็งแกร่งสามารถปกป้องส่วนประกอบอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพและป้องกันการกัดกร่อนหรือความเสียหายต่อสารตั้งต้นในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงให้การป้องกันที่มีประสิทธิภาพสำหรับสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงในการผลิตเวเฟอร์ คุณลักษณะนี้ยังกำหนดว่าการรองรับการเคลือบ Tantalum Carbide ของ Vetek Semiconductor มักจะใช้ในการกัดและการกัดกร่อน

การรองรับการเคลือบ Tantalum Carbide ยังมีฟังก์ชั่นของการลดการปนเปื้อนของอนุภาค ในระหว่างการประมวลผลเวเฟอร์การสึกหรอของพื้นผิวมักจะก่อให้เกิดการปนเปื้อนของฝุ่นละอองซึ่งมีผลต่อคุณภาพผลิตภัณฑ์ของเวเฟอร์ ลักษณะผลิตภัณฑ์ที่รุนแรงของ TAC Coating ใกล้เคียงกับความแข็งของ Mohs 9-10 Mohs สามารถลดการสึกหรอนี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพซึ่งจะช่วยลดการสร้างอนุภาค เมื่อรวมกับการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมของ TAC Coating (ประมาณ 21 W/m · K) มันสามารถรักษาค่าการนำความร้อนที่ดีภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูงซึ่งจะช่วยเพิ่มผลผลิตและความสม่ำเสมอของการผลิตเวเฟอร์อย่างมาก

ผลิตภัณฑ์เคลือบ TAC หลักของ Vetek Semiconductor รวมถึงเครื่องทำความร้อนเคลือบ TAC, CVD TAC Coating Crucible, TAC การเคลือบ TACและชิ้นส่วนอะไหล่ TAC Coatingฯลฯ และสนับสนุนบริการผลิตภัณฑ์ที่กำหนดเอง Vetek Semiconductor มุ่งมั่นที่จะจัดหาผลิตภัณฑ์ที่ยอดเยี่ยมและโซลูชั่นทางเทคนิคสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน

การเคลือบ Tantalum Carbide (TAC) บนหน้าตัดด้วยกล้องจุลทรรศน์:

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD TAC：