วงแหวนเคลือบ SiC ของเตาแนวตั้ง

ในเตาเผาแนวตั้งการใช้แหวนเคลือบ SIC เป็นวิธีแก้ปัญหาทั่วไปส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการบำบัดความร้อนที่อุณหภูมิสูงของเซมิคอนดักเตอร์เวเฟอร์- แหวนเคลือบ SIC ในแนวตั้งเป็นส่วนประกอบที่มีประสิทธิภาพสูงและมีอุณหภูมิสูงที่ใช้ในการสนับสนุนหรือปกป้องเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่าความเสถียรและความน่าเชื่อถือของกระบวนการ

ฟังก์ชั่นของแหวนเคลือบเตาเผาในแนวตั้ง

 ฟังก์ชั่น

บทบาทสนับสนุน. ใช้เพื่อรองรับเวเฟอร์เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรและตำแหน่งที่แม่นยำในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง

 การป้องกันการกัดกร่อน

ป้องกันก๊าซหรือสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อนไม่ให้กัดกร่อนวัสดุฐาน

 ลดมลภาวะ

การเคลือบ SIC ที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถป้องกันการหลั่งของอนุภาคและการปนเปื้อนของสิ่งเจือปนเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการสะอาด

 ทนต่ออุณหภูมิสูง

รักษาคุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยมและความเสถียรของขนาดในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง (ปกติมากกว่า 1,000°C)

คุณสมบัติของวงแหวนเคลือบ SiC ของเตาแนวตั้ง

 มีความแข็งและความแข็งแรงสูง

วัสดุ SiC มีความแข็งแรงเชิงกลที่ดีเยี่ยมและสามารถทนต่อความเครียดที่อุณหภูมิสูงในเตาเผาได้

 เสถียรภาพทางความร้อนที่ดี

ค่าการนำความร้อนสูงของ SIC และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำช่วยลดความเครียดจากความร้อน

 เสถียรภาพทางเคมีที่แข็งแกร่ง

การเคลือบ SiC สามารถต้านทานการกัดกร่อนในสภาพแวดล้อมออกซิไดซ์ กรด หรือด่าง

 การปนเปื้อนของอนุภาคต่ำ

พื้นผิวเรียบช่วยลดความเป็นไปได้ของการเกิดอนุภาค ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ใช้สำหรับการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน การหลอม และกระบวนการอื่นๆ ในเตาเผาแนวตั้งเพื่อรองรับเวเฟอร์ซิลิคอน และป้องกันการปนเปื้อนของอนุภาคในระหว่างการอบชุบด้วยความร้อน

วัสดุและกระบวนการผลิต

●  พื้นผิว: ผลิตจากกราไฟท์ SGL คุณภาพสูง รับประกันคุณภาพ

●  การเคลือบ: เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์บนพื้นผิวกราไฟท์โดยการสะสมไอสารเคมี (CVD)

●ความหนาของการเคลือบมักจะอยู่ระหว่าง 50 ~ 500μmซึ่งปรับตามข้อกำหนดการใช้งาน

●  การเคลือบ SiC ที่สะสมไอสารเคมีมีความบริสุทธิ์และความหนาแน่นสูงกว่า และความทนทานดีกว่า

เลือกที่เหมาะสมการเคลือบ SICแหวนตามเส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ซิลิคอนในเตาและข้อกำหนดของผู้ให้บริการ เราสามารถปรับแต่งให้คุณได้ ความบริสุทธิ์สูงการเคลือบหนาแน่นมีความทนทานและมลพิษน้อยลงแทนที่จะแทนที่ตามความถี่ของการใช้งานและข้อกำหนดกระบวนการเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนหรือสนับสนุนความล้มเหลวเนื่องจากการเคลือบอายุ

ในฐานะที่เป็นผู้จัดหาแหวนที่เคลือบด้วยเตาเผาในแนวตั้งมืออาชีพและผู้ผลิตในประเทศจีน Vetek Semiconductor ได้มุ่งมั่นที่จะจัดหาเทคโนโลยีเตาเผาแนวตั้งขั้นสูงและโซลูชั่นผลิตภัณฑ์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน

โครงสร้างผลึกฟิล์ม CVD SIC

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์ร้านขายแหวนเคลือบ Sic ในแนวตั้ง: