สินค้า
สินค้า
การเคลือบ SiC ถาด epitaxis แบบโมโนคริสตัลไลน์ซิลิคอน
  • การเคลือบ SiC ถาด epitaxis แบบโมโนคริสตัลไลน์ซิลิคอนการเคลือบ SiC ถาด epitaxis แบบโมโนคริสตัลไลน์ซิลิคอน

การเคลือบ SiC ถาด epitaxis แบบโมโนคริสตัลไลน์ซิลิคอน

ถาด monocrystalline silicon epitaxial ถาดเป็นอุปกรณ์เสริมที่สำคัญสำหรับเตาหลอมการเจริญเติบโตของ silicon monocrystalline silicon epitaxial เพื่อให้มั่นใจว่ามลพิษน้อยที่สุดและสภาพแวดล้อมการเจริญเติบโตของ epitaxial ที่มั่นคง SIC SIC ของ Vetek Semiconductor ถาด monocrystalline silicon epitaxial ถาดมีอายุการใช้งานที่ยาวนานเป็นพิเศษและมีตัวเลือกการปรับแต่งที่หลากหลาย Vetek Semiconductor หวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ถาด monocrystalline silicon epitaxial ของ Vetek Semiconductor ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับการเติบโตของ epitaxial silicon monocrystalline และมีบทบาทสำคัญในการประยุกต์ใช้ epitaxy semiconductor monocrystallineการเคลือบ SICไม่เพียงแต่ปรับปรุงความต้านทานต่ออุณหภูมิและความต้านทานการกัดกร่อนของถาดได้อย่างมีนัยสำคัญ แต่ยังรับประกันความเสถียรในระยะยาวและประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง


ข้อดีของการเคลือบ SIC


SiC coating Monocrystalline silicon epitaxial tray working diagram

●  การนำความร้อนสูง: การเคลือบ SIC ช่วยเพิ่มความสามารถในการจัดการความร้อนของถาดอย่างมากและสามารถกระจายความร้อนที่เกิดจากอุปกรณ์กำลังสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพ


●ความต้านทานการกัดกร่อน: การเคลือบ SiC ทำงานได้ดีในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน ทำให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานและความน่าเชื่อถือในระยะยาว


●  ความสม่ำเสมอของพื้นผิว: ให้พื้นผิวที่เรียบและราบเรียบหลีกเลี่ยงข้อผิดพลาดในการผลิตที่เกิดจากความไม่สม่ำเสมอของพื้นผิวและสร้างความมั่นใจในความเสถียรของการเติบโตของ epitaxial


จากการวิจัยเมื่อขนาดรูขุมขนของสารตั้งต้นกราไฟท์อยู่ระหว่าง 100 ถึง 500 นาโนเมตรการเคลือบแบบไล่ระดับสี SIC สามารถเตรียมได้บนพื้นผิวกราไฟท์และการเคลือบ SIC มีความสามารถในการต่อต้านการออกซิเดชั่นที่แข็งแกร่งขึ้น ความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันของการเคลือบ SIC บนกราไฟท์ (เส้นโค้งสามเหลี่ยม) นั้นแข็งแกร่งกว่าข้อกำหนดอื่น ๆ ของกราไฟท์ซึ่งเหมาะสำหรับการเติบโตของ epitaxy ซิลิกอนคริสตัลเดี่ยว ถาด monocrystalline silicon epitaxial ของ Vetek Semiconductorสารตั้งต้นกราไฟท์ซึ่งสามารถบรรลุประสิทธิภาพดังกล่าวได้


การเคลือบ SiC ของ VeTek Semiconductor สิ่งสำคัญที่สุดคือ ไม่ว่าลูกค้าจะต้องการปรับแต่งผลิตภัณฑ์แบบใด เราก็สามารถทำให้ดีที่สุดเพื่อตอบสนองความต้องการได้


คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC


คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SiC
คุณสมบัติ
ค่าทั่วไป
โครงสร้างผลึก
โพลีคริสตัลไลน์เฟส FCC β ส่วนใหญ่เน้น (111)
ความหนาแน่น
3.21 ก./ซม.³
ความแข็ง
2500 Vickers Hardness (500 กรัมโหลด)
ข้าวศรีze
2 ~ 10 มม.
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี
99.99995%
ความจุความร้อน
640 เจ·กก-1·เค-1
อุณหภูมิระเหิด 2700 ℃
ความแข็งแรงของการโค้งงอ
415 MPa RT 4 จุด
โมดูลัสของยัง
430 Gpa 4pt โค้งงอ, 1300 ℃
การนำความร้อน
300W·ม-1·เค-1
การขยายความร้อน (CTE)
4.5×10-6K-1

ร้านผลิต Vetek Semiconductor


Graphite epitaxial substrateSemiconductor heating furnace equipmentGraphite ring assemblySemiconductor process equipment

ส่งคำถาม
ข้อมูลติดต่อ
  • ที่อยู่

    ถนน Wangda, ถนน Ziyang, เขต Wuyi, เมือง Jinhua, จังหวัดเจ้อเจียง, จีน

  • โทร

    +86-18069220752

  • อีเมล

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
คำแนะนำข่าวสาร
X
เราใช้คุกกี้เพื่อมอบประสบการณ์การท่องเว็บที่ดีขึ้น วิเคราะห์การเข้าชมไซต์ และปรับแต่งเนื้อหาในแบบของคุณ การใช้ไซต์นี้แสดงว่าคุณยอมรับการใช้คุกกี้ของเรา นโยบายความเป็นส่วนตัว
ปฏิเสธยอมรับ