วงแหวนโฟกัสสำหรับการแกะสลัก

แหวนแกะสลักซิลิกอน Monocrystalline เป็นส่วนประกอบที่จำเป็นในกระบวนการกัดเซมิคอนดักเตอร์โดยการรักษาความมั่นคงของสภาพแวดล้อมพลาสมาการปกป้องอุปกรณ์และเวเฟอร์การใช้ประโยชน์จากทรัพยากรและปรับให้เข้ากับความต้องการกระบวนการขั้นสูง ประสิทธิภาพของมันส่งผลโดยตรงต่อผลตอบแทนและต้นทุนของการผลิตชิป

วงแหวนโฟกัสสลักอิเล็กโทรดและ ETC (ตัวควบคุมอุณหภูมิขอบ) เป็นวัสดุสิ้นเปลืองหลักเพื่อให้แน่ใจว่าพลาสม่าสม่ำเสมอการควบคุมอุณหภูมิและการทำซ้ำกระบวนการ ส่วนประกอบเหล่านี้ประกอบขึ้นอย่างแม่นยำในห้องสุญญากาศของ CVD, การแกะสลักและอุปกรณ์ฟิล์มและตรวจสอบความถูกต้องและผลผลิตของการแกะสลักจากขอบถึงกึ่งกลางของเวเฟอร์โดยตรง

ในการตอบสนองต่อความต้องการที่เข้มงวดสำหรับคุณสมบัติของวัสดุในกระบวนการผลิตระดับไฮเอนด์ Veteksemi สร้างสรรค์สิ่งใหม่ ๆ โดยใช้ซิลิกอน monocrystalline ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยความต้านทาน10-20Ω·ซม. เพื่อผลิตวงแหวนโฟกัสและวัสดุสิ้นเปลือง ด้วยการเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานร่วมกันของวิทยาศาสตร์วัสดุการออกแบบไฟฟ้าและอุณหพลศาสตร์ Veteksemi สามารถผลิตวงแหวนโฟกัสและสนับสนุนวัสดุสิ้นเปลือง เหนือกว่าโซลูชั่นควอตซ์แบบดั้งเดิมที่ครอบคลุมเพื่อให้เกิดการปรับปรุงการพัฒนาที่ยาวนานความแม่นยำและประสิทธิผลของต้นทุน

การเปรียบเทียบวัสดุหลักและการเพิ่มประสิทธิภาพความต้านทาน

Monocrystalline Silicon ควอตซ์

Advantag หลักของผลิตภัณฑ์e

1. ความแม่นยำในกระบวนการระดับอะตอม

การเพิ่มประสิทธิภาพความต้านทาน + การขัดด้วยความแม่นยำพิเศษ (RA <0.1μM) ช่วยลดการสูญเสียไมโครและการปนเปื้อนของอนุภาคเพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐานกึ่ง F47

การสูญเสียอิเล็กทริก (TanΔ <0.001) นั้นมีการจับคู่อย่างมากกับสภาพแวดล้อมของเวเฟอร์ไดอิเล็กทริกหลีกเลี่ยงการบิดเบือนสนามไฟฟ้าขอบและรองรับ 3D NAND 89.5 °± 0.3 °การแกะสลักรูลึกแนวตั้ง

2. ความเข้ากันได้ของระบบอัจฉริยะ

รวมเข้ากับโมดูลควบคุมอุณหภูมิ EDS Edge การไหลของอากาศเย็นจะถูกปรับแบบไดนามิกโดยเทอร์โมคัปเปิ้ลและอัลกอริทึม AI เพื่อชดเชยการดริฟท์ความร้อนในห้อง

รองรับเครือข่ายการจับคู่ RF ที่กำหนดเองเหมาะสำหรับเครื่องจักรหลักเช่น AMAT Centura, LAM Research Kiyo และแหล่งพลาสมา ICP/CCP

3. ความคุ้มค่าที่ครอบคลุม

อายุการใช้งานของ monocrystalline silicon ยาวกว่า 275% ของควอตซ์วงจรการบำรุงรักษามากกว่า 3,000 ชั่วโมงและค่าใช้จ่ายที่ครอบคลุมในการเป็นเจ้าของ (TCO) ลดลง 30%

บริการปรับแต่งความต้านทานการไล่ระดับสี (5-100Ω·ซม.) จับคู่หน้าต่างกระบวนการของลูกค้าได้อย่างแม่นยำ (เช่นการแกะสลักช่องว่างวงกว้าง GAN/SIC)

ผลของความต้านทาน

เงื่อนไขเชิงพาณิชย์ผลิตภัณฑ์

ปริมาณการสั่งซื้อขั้นต่ำ	1 ชุด
ราคา	ติดต่อสำหรับใบเสนอราคาที่กำหนดเอง
รายละเอียดบรรจุภัณฑ์	แพ็คเกจส่งออกมาตรฐาน
เวลาจัดส่ง	เวลาจัดส่ง: 30-35 วันหลังจากการยืนยันการสั่งซื้อ
เงื่อนไขการชำระเงิน	t/t
ความสามารถในการจัดหา	600 ชุด/เดือน