เครื่องทำความร้อนกราไฟท์แบบกำหนดเองสำหรับโซนร้อน

เหตุใดจึงเลือก VETEK

  ●ความสม่ำเสมอทางความร้อนสูงสุด: เครื่องทำความร้อน VETEK ผ่านการจำลองโครงสร้างและการออกแบบที่แม่นยำเพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่โดดเด่นแม้ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงถึง 2200°C ช่วยเพิ่มผลผลิตแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

  ●การประกันวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูง: เราคัดเลือกกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงแบบไอโซสแตติกอย่างเคร่งครัด โดยรักษาปริมาณเถ้าไว้ที่ระดับต่ำมาก เพื่อกำจัดการปนเปื้อนของไอออนของโลหะที่อุณหภูมิสูงจากแหล่งกำเนิด

  ●เทคโนโลยีการเคลือบขั้นสูง: ด้วยการใช้ประโยชน์จากจุดแข็งหลักของ VETEK เราจึงนำเสนอตัวเลือกการเคลือบ SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) สิ่งนี้ช่วยเพิ่มความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันและการกัดกร่อนได้อย่างมาก ทำให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้นในสภาพแวดล้อมก๊าซเคมีที่รุนแรง

  ●การปรับแต่งที่แม่นยำ: ไม่ว่าจะเป็นโครงสร้างดิสก์ทรงกระบอก เกลียว หรือซับซ้อน VETEK ให้การตัดเฉือนที่มีความแม่นยำสูงตามแบบทางเทคนิคของคุณเพื่อให้แน่ใจว่าเข้ากันได้อย่างลงตัวกับอุปกรณ์ของคุณ

  ●การคุ้มครองโลจิสติกส์ที่ครอบคลุม: VETEK ตระหนักถึงธรรมชาติที่เปราะบางของกราไฟท์จึงได้อัปเกรดระบบบรรจุภัณฑ์ การเสริมแรงป้องกันการกระแทกหลายชั้นของเรารับประกัน "ความเสียหายเป็นศูนย์" ในระหว่างการขนส่งระหว่างประเทศ ช่วยลดความกังวลเรื่องความล่าช้าในการผลิต

ฟิลด์แอปพลิเคชันหลัก

  ●สารกึ่งตัวนำ Epitaxy: ส่วนประกอบสนามความร้อนหลักสำหรับอุปกรณ์ MOCVD (เข้ากันได้กับรุ่นทั่วไป เช่น K465i)

  ●การเติบโตของคริสตัล SiC: การควบคุมสนามความร้อนที่แม่นยำสำหรับการเติบโตของซิลิคอนคาร์ไบด์และวัสดุเซมิคอนดักเตอร์แบบแถบความถี่กว้างอื่นๆ

  ●อุปกรณ์สุญญากาศอุณหภูมิสูง: ใช้กันอย่างแพร่หลายในเตาเผาผนึกสูญญากาศ การประสานที่แม่นยำ และอุปกรณ์รักษาความร้อนระดับไฮเอนด์

  ●พื้นผิวสำหรับการเคลือบขั้นสูง: วัสดุฐานที่เหมาะสำหรับการเคลือบ CVD SiC, SiN หรือ SiO

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

นอกจากนี้เรายังสนับสนุนวัสดุที่ปรับแต่งให้มีระดับความบริสุทธิ์ที่สูงขึ้นสำหรับสภาวะการทำงานเฉพาะอีกด้วย

ร้านผลิตภัณฑ์เวเทคเซมิคอน