ฐานซิลิโคน

ตัวรับซิลิคอน VeTek Semiconductor เป็นผลิตภัณฑ์ซิลิคอนบริสุทธิ์ที่ออกแบบมาเพื่อรับประกันความเสถียรของอุณหภูมิในท่อเครื่องปฏิกรณ์ความร้อนในระหว่างการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งจะช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของฉนวนความร้อน การประมวลผลเวเฟอร์ซิลิคอนเป็นกระบวนการที่แม่นยำอย่างยิ่ง และอุณหภูมิมีบทบาทสำคัญ ซึ่งส่งผลโดยตรงต่อความหนาและความสม่ำเสมอของฟิล์มเวเฟอร์ซิลิคอน

แท่นซิลิกอนตั้งอยู่ในส่วนล่างของหลอดเครื่องปฏิกรณ์ความร้อนเตาเผาที่รองรับซิลิคอนผู้ให้บริการเวเฟอร์พร้อมทั้งให้ฉนวนกันความร้อนที่มีประสิทธิภาพ ในตอนท้ายของกระบวนการ มันจะค่อยๆ เย็นลงจนถึงอุณหภูมิโดยรอบพร้อมกับตัวพาซิลิคอนเวเฟอร์

ฟังก์ชั่นหลักและประโยชน์ของ Vetek Semiconductor Silicon Playestals:

ให้การสนับสนุนที่มั่นคงเพื่อรับรองความถูกต้องของกระบวนการ

ฐานซิลิคอนเป็นฐานรองรับที่มั่นคงและทนความร้อนสูงสำหรับเรือซิลิคอนในห้องเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง ความเสถียรนี้สามารถป้องกันไม่ให้เรือซิลิคอนขยับหรือเอียงในระหว่างการประมวลผลได้อย่างมีประสิทธิภาพ ดังนั้นจึงหลีกเลี่ยงผลกระทบต่อความสม่ำเสมอของการไหลของอากาศหรือทำลายการกระจายของอุณหภูมิ ทำให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำและความสม่ำเสมอของกระบวนการ

เพิ่มความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในเตาเผาและปรับปรุงคุณภาพเวเฟอร์

โดยการแยกเรือซิลิกอนออกจากการสัมผัสโดยตรงกับก้นเตาหรือผนังฐานซิลิกอนสามารถลดการสูญเสียความร้อนที่เกิดจากการนำไฟฟ้าซึ่งจะทำให้การกระจายอุณหภูมิสม่ำเสมอมากขึ้นในท่อปฏิกิริยาความร้อน สภาพแวดล้อมทางความร้อนที่สม่ำเสมอนี้มีความสำคัญต่อความสม่ำเสมอของการแพร่กระจายของเวเฟอร์และชั้นออกไซด์ซึ่งเป็นการปรับปรุงคุณภาพโดยรวมของเวเฟอร์อย่างมาก

เพิ่มประสิทธิภาพของฉนวนกันความร้อนและลดการใช้พลังงาน

คุณสมบัติเป็นฉนวนความร้อนที่ดีเยี่ยมของวัสดุฐานซิลิกอนช่วยลดการสูญเสียความร้อนในห้องเตาเผา จึงช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการใช้พลังงานของกระบวนการได้อย่างมาก กลไกการจัดการระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพนี้ไม่เพียงแต่ช่วยเร่งวงจรการทำความร้อนและความเย็นเท่านั้น แต่ยังช่วยลดการใช้พลังงานและต้นทุนการดำเนินงาน มอบโซลูชันที่ประหยัดมากขึ้นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ข้อมูลจำเพาะของฐานซิลิคอน VeTek Semiconductor

ร้านผลิต VeTek Semiconductor Silicon Pedestal