ศูนย์สะสม SIC

Vetek Semiconductor SIC Coating Collector Center มีบทบาทสำคัญในการผลิตกระบวนการ EPI เซมิคอนดักเตอร์ มันเป็นหนึ่งในองค์ประกอบสำคัญที่ใช้สำหรับการกระจายก๊าซและการควบคุมในห้องปฏิกิริยา epitaxial ยินดีต้อนรับเราเพื่อสอบถามเกี่ยวกับการเคลือบ SICและการเคลือบ TACในโรงงานของเรา

บทบาทของศูนย์สะสม SIC มีดังนี้:

●การกระจายก๊าซ: ศูนย์สะสมสารเคลือบ SIC ใช้เพื่อแนะนำก๊าซที่แตกต่างกันในห้องปฏิกิริยา epitaxial มันมีหลายทางเข้าและช่องทางที่สามารถแจกจ่ายก๊าซที่แตกต่างกันไปยังสถานที่ที่ต้องการเพื่อตอบสนองความต้องการการเติบโตของ epitaxial เฉพาะ

●แก๊สควบคุม: ศูนย์สะสม SIC สามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำของแต่ละก๊าซผ่านวาล์วและอุปกรณ์ควบคุมการไหล การควบคุมก๊าซที่แม่นยำนี้เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับความสำเร็จของกระบวนการเจริญเติบโตของ epitaxial เพื่อให้ได้ความเข้มข้นของก๊าซและอัตราการไหลที่ต้องการเพื่อให้มั่นใจถึงคุณภาพและความสอดคล้องของฟิล์ม

●ความสม่ำเสมอ: การออกแบบและเลย์เอาต์ของแหวนเก็บแก๊สกลางช่วยให้เกิดการกระจายของก๊าซอย่างสม่ำเสมอ ผ่านเส้นทางการไหลของก๊าซที่เหมาะสมและโหมดการกระจายก๊าซจะถูกผสมอย่างสม่ำเสมอในห้องปฏิกิริยา epitaxial เพื่อให้เกิดการเติบโตอย่างสม่ำเสมอของฟิล์ม

ในการผลิตผลิตภัณฑ์ epitaxial ศูนย์สะสม SIC มีบทบาทสำคัญในด้านคุณภาพความหนาและความสม่ำเสมอของฟิล์ม ผ่านการกระจายและการควบคุมก๊าซที่เหมาะสมศูนย์สะสม SIC สามารถมั่นใจได้ถึงความมั่นคงและความสอดคล้องของกระบวนการเติบโตของ epitaxialเพื่อให้ได้ฟิล์ม epitaxial คุณภาพสูง

เมื่อเปรียบเทียบกับศูนย์สะสมกราไฟท์ศูนย์สะสม SIC ได้รับการปรับปรุงการนำความร้อนความเฉื่อยทางเคมีที่เพิ่มขึ้นและความต้านทานการกัดกร่อนที่เหนือกว่า การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ช่วยเพิ่มความสามารถในการจัดการความร้อนอย่างมีนัยสำคัญของวัสดุกราไฟท์ซึ่งนำไปสู่ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดีขึ้นและการเติบโตของฟิล์มที่สอดคล้องกันในกระบวนการ epitaxial นอกจากนี้การเคลือบยังให้เลเยอร์ป้องกันที่ต่อต้านการกัดกร่อนทางเคมีซึ่งขยายอายุการใช้งานของส่วนประกอบกราไฟท์ โดยรวมแล้วเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์วัสดุกราไฟท์มีการนำความร้อนที่เหนือกว่าความเฉื่อยทางเคมีและความต้านทานการกัดกร่อนทำให้มั่นใจได้ว่าการเพิ่มความเสถียรและการเติบโตของฟิล์มคุณภาพสูงในกระบวนการ epitaxial

โครงสร้างผลึกฟิล์ม CVD SIC:

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ CVD SIC

มันเป็นเซมิคอนดักเตอร์ศูนย์สะสม SICร้านค้า