ข่าว

ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา จุดศูนย์กลางของเทคโนโลยีบรรจุภัณฑ์ได้ค่อยๆ กลายเป็น "เทคโนโลยีเก่า" - CMP (CMP (Chemical Mechanical Polishing)) เมื่อ Hybrid Bonding กลายเป็นบทบาทนำของบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงรุ่นใหม่ CMP จะค่อยๆ ย้ายจากเบื้องหลังไปสู่จุดสนใจ

ในโลกที่เปลี่ยนแปลงตลอดเวลาของเครื่องใช้ในครัวเรือนและในครัว ผลิตภัณฑ์หนึ่งได้รับความสนใจอย่างมากเมื่อเร็วๆ นี้ในด้านนวัตกรรมและการใช้งานจริง นั่นก็คือถังเก็บความร้อนแบบควอตซ์

ผลิตภัณฑ์ควอตซ์มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากความบริสุทธิ์สูงความต้านทานอุณหภูมิสูงและความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่ง

เตาหลอมการเจริญเติบโตของซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) มีบทบาทสำคัญในการผลิตเวเฟอร์ SIC ที่มีประสิทธิภาพสูงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์รุ่นต่อไป อย่างไรก็ตามกระบวนการของผลึก SIC คุณภาพสูงที่เพิ่มขึ้นนำเสนอความท้าทายที่สำคัญ จากการจัดการการไล่ระดับสีความร้อนที่รุนแรงไปจนถึงการลดข้อบกพร่องของผลึกทำให้มั่นใจได้ว่าการเติบโตอย่างสม่ำเสมอและการควบคุมต้นทุนการผลิตแต่ละขั้นตอนต้องใช้โซลูชั่นวิศวกรรมขั้นสูง บทความนี้จะวิเคราะห์ความท้าทายทางเทคนิคของเตาหลอมการเจริญเติบโตของคริสตัล SIC จากหลายมุมมอง

Smart Cut เป็นกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงโดยใช้การฝังไอออนและการลอกเวเฟอร์ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเวเฟอร์ 3C-SIC (ลูกบาศก์ซิลิกอนคาร์ไบด์) มันสามารถถ่ายโอนวัสดุคริสตัลบางเฉียบจากพื้นผิวหนึ่งไปยังอีกวัสดุหนึ่งซึ่งจะทำลายข้อ จำกัด ทางกายภาพดั้งเดิมและเปลี่ยนอุตสาหกรรมสารตั้งต้นทั้งหมด

ในการเตรียมสารตั้งต้นซิลิกอนคาร์ไบด์คุณภาพสูงและคุณภาพสูงแกนกลางต้องมีการควบคุมอุณหภูมิการผลิตที่แม่นยำโดยวัสดุสนามความร้อนที่ดี ปัจจุบันชุดเบ้าหลอมสนามความร้อนที่ใช้เป็นส่วนใหญ่เป็นส่วนประกอบโครงสร้างกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งฟังก์ชั่นคือความร้อนผงคาร์บอนหลอมเหลวและผงซิลิกอนเช่นเดียวกับการรักษาความร้อน