ข่าว

บทความวิเคราะห์ความท้าทายเฉพาะที่ต้องเผชิญโดยกระบวนการเคลือบ CVD TAC สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว SIC ในระหว่างการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์เช่นแหล่งวัสดุและการควบคุมความบริสุทธิ์การเพิ่มประสิทธิภาพพารามิเตอร์กระบวนการการยึดเกาะ เช่นเดียวกับโซลูชั่นอุตสาหกรรมที่สอดคล้องกัน

จากมุมมองการใช้งานของการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว SIC บทความนี้เปรียบเทียบพารามิเตอร์ทางกายภาพพื้นฐานของการเคลือบ TAC และการเคลือบ SIC และอธิบายข้อได้เปรียบพื้นฐานของการเคลือบ TAC ผ่านการเคลือบ SIC ในแง่ของความต้านทานอุณหภูมิสูงความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่ง ต้นทุนลดลง

มีอุปกรณ์วัดหลายประเภทในโรงงาน Fab อุปกรณ์ทั่วไปรวมถึงอุปกรณ์การวัดกระบวนการพิมพ์หิน, อุปกรณ์การวัดกระบวนการแกะสลัก, อุปกรณ์การวัดกระบวนการสะสมฟิล์มบาง, อุปกรณ์การวัดกระบวนการยาสลบ, อุปกรณ์การวัดกระบวนการ CMP, อุปกรณ์ตรวจจับอนุภาคเวเฟอร์และอุปกรณ์การวัดอื่น ๆ

การเคลือบ Tantalum Carbide (TAC) สามารถยืดอายุของชิ้นส่วนกราไฟท์ได้อย่างมีนัยสำคัญโดยการปรับปรุงความต้านทานอุณหภูมิสูงความต้านทานการกัดกร่อนคุณสมบัติเชิงกลและความสามารถในการจัดการความร้อน ลักษณะความบริสุทธิ์สูงช่วยลดการปนเปื้อนของสิ่งเจือปนปรับปรุงคุณภาพการเจริญเติบโตของคริสตัลและเพิ่มประสิทธิภาพการใช้พลังงาน มันเหมาะสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และแอพพลิเคชั่นการเจริญเติบโตของคริสตัลในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีการกัดกร่อนสูง