เรือกราไฟท์สำหรับ PECVD

แอปพลิเคชัน: เรือกราไฟท์ Veteksemicon สำหรับ PECVD เป็นองค์ประกอบหลักในกระบวนการสะสมไอสารเคมีที่เสริมพลาสมา ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการสะสมซิลิคอนไนไตรด์ ซิลิคอนออกไซด์ และฟิล์มบางอื่นๆ คุณภาพสูงบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน เซมิคอนดักเตอร์ผสม และพื้นผิวแผงจอแสดงผล ประสิทธิภาพจะกำหนดความสม่ำเสมอของฟิล์ม ความเสถียรของกระบวนการ และต้นทุนการผลิตโดยตรง

บริการที่สามารถให้ได้: การวิเคราะห์สถานการณ์การใช้งานของลูกค้า การจับคู่วัสดุ การแก้ปัญหาทางเทคนิค

ประวัติบริษัท：Veteksemicon มีห้องปฏิบัติการ 2 แห่ง ซึ่งเป็นทีมผู้เชี่ยวชาญที่มีประสบการณ์ด้านวัสดุมาเป็นเวลา 20 ปี พร้อมด้วยความสามารถในการวิจัยและพัฒนา การผลิต การทดสอบ และการตรวจสอบ

ข้อมูลผลิตภัณฑ์ทั่วไป

เงื่อนไขทางธุรกิจผลิตภัณฑ์

ฟิลด์แอปพลิเคชันหลัก

เรือ Veteksemicon Graphite สำหรับข้อดีหลักของ PECVD

1. สารตั้งต้นที่มีความบริสุทธิ์สูง ควบคุมมลพิษจากแหล่งกำเนิด

เรายืนกรานที่จะใช้กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงอัดด้วยไอโซสแตติกซึ่งมีความบริสุทธิ์คงที่มากกว่า 99.995% เป็นวัสดุฐานเพื่อให้แน่ใจว่าจะไม่ตกตะกอนสิ่งเจือปนของโลหะแม้ในสภาพแวดล้อมการทำงานต่อเนื่องที่ 1600°C ข้อกำหนดวัสดุที่เข้มงวดนี้สามารถหลีกเลี่ยงการเสื่อมประสิทธิภาพของเวเฟอร์ที่เกิดจากการปนเปื้อนของตัวพาได้โดยตรง ซึ่งให้การรับประกันขั้นพื้นฐานที่สุดสำหรับการสะสมฟิล์มซิลิคอนไนไตรด์หรือซิลิคอนออกไซด์คุณภาพสูง

2. สนามระบายความร้อนที่แม่นยำและการออกแบบโครงสร้างเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการมีความสม่ำเสมอ

ด้วยการจำลองของไหลและข้อมูลการวัดกระบวนการที่ครอบคลุม เราได้ปรับมุมร่องของเรือ ความลึกของร่องนำ และเส้นทางการไหลของก๊าซให้เหมาะสม การพิจารณาโครงสร้างที่พิถีพิถันนี้ช่วยให้สามารถกระจายก๊าซปฏิกิริยาระหว่างแผ่นเวเฟอร์ได้สม่ำเสมอ การวัดตามจริงแสดงให้เห็นว่าเมื่อโหลดเต็มที่ สามารถควบคุมความเบี่ยงเบนความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มระหว่างเวเฟอร์ในชุดเดียวกันได้อย่างเสถียรภายใน ±1.5% ซึ่งช่วยเพิ่มผลผลิตของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมาก

3. โซลูชันการเคลือบแบบกำหนดเองเพื่อจัดการกับการกัดกร่อนของกระบวนการเฉพาะ

เพื่อตอบสนองสภาพแวดล้อมก๊าซในกระบวนการที่แตกต่างกันของลูกค้าที่แตกต่างกัน เรามีตัวเลือกการเคลือบที่สมบูรณ์สองแบบ: ไพโรไลติกคาร์บอนและซิลิคอนคาร์ไบด์ หากคุณฝากซิลิคอนไนไตรด์เป็นหลักและใช้การทำความสะอาดด้วยไฮโดรเจน การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติกที่มีความหนาแน่นสามารถให้ความต้านทานที่ดีเยี่ยมต่อการกัดเซาะของพลาสมาไฮโดรเจน หากกระบวนการของคุณเกี่ยวข้องกับก๊าซทำความสะอาดที่มีฟลูออรีน การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ความแข็งสูงก็เป็นตัวเลือกที่ดีกว่า สามารถยืดอายุการใช้งานของเรือกราไฟท์ในสภาพแวดล้อมที่มีการกัดกร่อนสูงได้มากกว่าสามเท่าของผลิตภัณฑ์ที่ไม่เคลือบผิวทั่วไป

4. เสถียรภาพการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่ดีเยี่ยม ปรับให้เข้ากับรอบอุณหภูมิบ่อยครั้ง

ด้วยสูตรกราไฟท์ที่เป็นเอกลักษณ์ของเราและการออกแบบซี่โครงเสริมแรงภายใน เรือกราไฟท์ของเราจึงสามารถทนต่อแรงกระแทกของการทำความเย็นและความร้อนอย่างรวดเร็วซ้ำๆ ของกระบวนการ PECVD ในการทดสอบในห้องปฏิบัติการอย่างเข้มงวด หลังจากรอบการให้ความร้อนอย่างรวดเร็ว 500 รอบจากอุณหภูมิห้องถึง 800°C อัตราการรักษาความแข็งแรงดัดโค้งของเรือยังคงเกิน 90% หลีกเลี่ยงการแตกร้าวที่เกิดจากความเครียดจากความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ และรับประกันความต่อเนื่องในการผลิตและความปลอดภัย

5. การรับรองการตรวจสอบห่วงโซ่ทางนิเวศวิทยา

เรือ Veteksemicon Graphite สำหรับการตรวจสอบห่วงโซ่ทางนิเวศของ PECVD ครอบคลุมถึงวัตถุดิบจนถึงการผลิต ผ่านการรับรองมาตรฐานสากล และมีเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรมากมายเพื่อให้มั่นใจในความน่าเชื่อถือและความยั่งยืนในสาขาเซมิคอนดักเตอร์และพลังงานใหม่

สำหรับข้อกำหนดทางเทคนิคโดยละเอียด เอกสารไวท์เปเปอร์ หรือการเตรียมการทดสอบตัวอย่าง โปรดติดต่อทีมสนับสนุนทางเทคนิคของเราเพื่อสำรวจว่า Veteksemicon สามารถเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการของคุณได้อย่างไร