CVD TaC เคลือบ Susceptor

ความหมายและองค์ประกอบของผลิตภัณฑ์

VETEK CVD TaC Coated Susceptor เป็นส่วนประกอบตัวพาเวเฟอร์ระดับไฮเอนด์ที่ใช้โดยเฉพาะสำหรับการประมวลผลเอพิแทกเซียลของเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม (SiC, GaN, AlN) ผลิตภัณฑ์นี้รวมข้อดีทางกายภาพของวัสดุประสิทธิภาพสูงสองชนิดเข้าด้วยกัน:

พื้นผิวกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง: ใช้กระบวนการขึ้นรูปแบบกดแบบไอโซสแตติกเพื่อให้แน่ใจว่าซับสเตรตมีความแข็งแรงของโครงสร้างที่เหนือกว่า ความหนาแน่นสูง และความเสถียรในการแปรรูปด้วยความร้อน

การเคลือบ CVD TaC: ชั้นป้องกันแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ที่หนาแน่นและปราศจากความเครียดถูกสร้างขึ้นบนพื้นผิวกราไฟท์ผ่านเทคโนโลยีการสะสมไอสารเคมี (CVD) ขั้นสูง

ข้อได้เปรียบทางเทคนิคหลัก: ความสามารถในการปรับตัวต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงเป็นพิเศษ

ในกระบวนการ MOCVD การเคลือบ TaC ไม่เพียงแต่เป็นชั้นป้องกันทางกายภาพเท่านั้น แต่ยังเป็นแกนหลักเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการทำซ้ำได้:

ความอดทนต่ออุณหภูมิที่สูงมาก: TaC มีจุดหลอมเหลวสูงถึง 3,880°C ซึ่งคงความเสถียรของรูปร่างที่ดีเยี่ยม แม้ในกระบวนการ epitaxis ที่มีอุณหภูมิสูงเป็นพิเศษที่สูงกว่า 1,600°C

ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: ในสภาพแวดล้อมรีดิวซ์ที่รุนแรงซึ่งมี NH₃(แอมโมเนีย) หรือ H₂ (ไฮโดรเจน) อัตราการกัดกร่อนของ TaC จะต่ำมาก ป้องกันการสูญเสียซับสเตรตและการตกตะกอนของสิ่งเจือปนได้อย่างมีประสิทธิภาพ

รับประกันความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ: ความบริสุทธิ์ของการเคลือบสูงถึง 99.9995% โครงสร้างที่หนาแน่นของมันจะปิดผนึกไมโครพอร์ของกราไฟท์อย่างสมบูรณ์ ทำให้มั่นใจได้ว่าฟิล์มอีปิแอกเซียลจะมีระดับสิ่งเจือปนต่ำมาก

การกระจายสนามความร้อนที่แม่นยำ: เทคโนโลยีการควบคุมการเคลือบที่ได้รับการปรับปรุงประสิทธิภาพของ VETEK ช่วยให้มั่นใจได้ว่าความแตกต่างของอุณหภูมิพื้นผิวตัวรับจะถูกควบคุมภายใน ±2°C ซึ่งปรับปรุงความหนาและความสม่ำเสมอของความยาวคลื่นของชั้นเอพิแทกเซียลของเวเฟอร์ได้อย่างมีนัยสำคัญ

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) บนหน้าตัดด้วยกล้องจุลทรรศน์:

ฟิลด์แอปพลิเคชันหลัก

SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) การเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว: รองรับการผลิตอุปกรณ์จ่ายไฟ SiC ขนาด 6 นิ้ว 8 นิ้ว และขนาดใหญ่กว่า

อุปกรณ์ที่ใช้ GaN (แกลเลียมไนไตรด์): ใช้ในกระบวนการ MOCVD สำหรับ LED ความสว่างสูง อุปกรณ์จ่ายไฟ HEMT และชิป RF

AlN (อะลูมิเนียมไนไตรด์) และการเจริญเติบโตของ UVC: นำเสนอโซลูชันตัวพาที่อุณหภูมิสูงมาก (1400°C+) สำหรับวัสดุแถบความถี่กว้างพิเศษ เช่น LED UV ระดับลึก

การสนับสนุนการวิจัยที่กำหนดเอง: ปรับให้เข้ากับความต้องการการปรับแต่งที่แม่นยำของสถาบันวิจัยสำหรับชิ้นส่วนที่ผิดปกติและดิสก์แบบหลายรู

รุ่นที่ใช้ร่วมกันได้และบริการปรับแต่ง

VETEK มีความสามารถในการประมวลผลทางกลและการเคลือบที่แม่นยำ โดยปรับให้เข้ากับอุปกรณ์ MOCVD หลักระดับโลกได้อย่างสมบูรณ์แบบ:

เอกซ์ตรอน: รองรับดิสก์และฐานการหมุนของดาวเคราะห์ต่างๆ

วีโก้: รองรับ K465i, Propel และซีรีส์ตัวรับแนวตั้งอื่นๆ

AMEC และอื่นๆ: จัดหาชิ้นส่วนทดแทนหรือโซลูชันการอัพเกรดที่เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์