ข่าว

บทความนี้วิเคราะห์เหตุผลว่าทำไมการเคลือบ SIC เป็นวัสดุหลักที่สำคัญสำหรับการเติบโตของ sic epitaxial และมุ่งเน้นไปที่ข้อได้เปรียบเฉพาะของการเคลือบ SIC ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

วัสดุนาโนซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC) เป็นวัสดุที่มีมิติอย่างน้อยหนึ่งมิติที่ระดับนาโนเมตร (1-100nm) วัสดุเหล่านี้สามารถเป็นศูนย์-หนึ่ง-สองหรือสามมิติและมีการใช้งานที่หลากหลาย

CVD SIC เป็นวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ผลิตโดยการสะสมไอสารเคมี ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับส่วนประกอบและการเคลือบต่างๆในอุปกรณ์ประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ เนื้อหาต่อไปนี้เป็นการแนะนำการจำแนกผลิตภัณฑ์และฟังก์ชั่นหลักของ CVD SIC