ข่าว

เตาแบบ epitaxial sic ขนาด 8 นิ้วและการวิจัยกระบวนการ homoepitaxial

บทความนี้วิเคราะห์คุณสมบัติของวัสดุของเวเฟอร์ซับสเตรตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ซิลิคอน, GaAs, SiC และ GaN

บทความนี้ส่วนใหญ่จะอธิบายเทคโนโลยี epitaxial อุณหภูมิต่ำที่ใช้ GAN รวมถึงโครงสร้างผลึกของวัสดุที่ใช้ GAN, 3. ความต้องการเทคโนโลยี epitaxial และโซลูชั่นการใช้งาน, ข้อได้เปรียบของเทคโนโลยี epitaxial อุณหภูมิต่ำตามหลักการ PVD