ข่าวอุตสาหกรรม

เรือควอตซ์เป็นส่วนประกอบที่สำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการประมวลผลอุณหภูมิสูงของเวเฟอร์เช่นการแพร่กระจายออกซิเดชันและการหลอม ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมลักษณะมลพิษต่ำและความต้านทานการกัดกร่อนทำให้เป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ บทความนี้จะอธิบายรายละเอียดเกี่ยวกับวัสดุคุณสมบัติทางกายภาพการจำแนกสถานการณ์การใช้งานของเรือควอตซ์และความแตกต่างจากเรือกราไฟท์ PECVD

วัสดุหลักของเรือกราไฟท์ PECVD คือวัสดุกราไฟท์ไอโซโทรปิกที่มีความบริสุทธิ์สูง (ความบริสุทธิ์มักจะเป็น≥99.999%) ซึ่งมีการนำไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมการนำความร้อนและความหนาแน่น เมื่อเปรียบเทียบกับเรือกราไฟท์ธรรมดาเรือกราไฟท์ PECVD มีข้อได้เปรียบทางกายภาพและทางเคมีจำนวนมากและส่วนใหญ่จะใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการ PECVD และ CVD

ถาดกราไฟท์ MOCVD มีบทบาทสำคัญในกระบวนการ epitaxial บทความนี้ทำการวิเคราะห์โดยละเอียดเกี่ยวกับการเลือกถาดกราไฟท์ MOCVD จากมุมมองของคุณสมบัติวัสดุและสถานการณ์แอปพลิเคชัน