ข่าวอุตสาหกรรม

หลังจากทำงานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มานานกว่าทศวรรษฉันเข้าใจโดยตรงว่าการเลือกวัสดุที่ท้าทายสามารถอยู่ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีพลังงานสูงได้อย่างไร มันไม่ได้จนกว่าฉันจะพบบล็อก SIC ของ Vetek ในที่สุดฉันก็พบวิธีแก้ปัญหาที่เชื่อถือได้อย่างแท้จริง

ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขณะที่ขนาดอุปกรณ์ยังคงหดตัวลงเทคโนโลยีการสะสมของวัสดุฟิล์มบางทำให้เกิดความท้าทายอย่างไม่เคยปรากฏมาก่อน การสะสมชั้นอะตอม (ALD) เป็นเทคโนโลยีการสะสมฟิล์มบางที่สามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำในระดับอะตอมได้กลายเป็นส่วนที่ขาดไม่ได้ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ บทความนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อแนะนำการไหลของกระบวนการและหลักการของ ALD เพื่อช่วยให้เข้าใจบทบาทที่สำคัญในการผลิตชิปขั้นสูง

เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสร้างวงจรรวมหรืออุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์บนชั้นฐานที่เป็นผลึกที่สมบูรณ์แบบ กระบวนการ epitaxy (epi) ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีเป้าหมายที่จะสะสมชั้นผลึกเดี่ยวละเอียด ซึ่งโดยปกติจะอยู่ที่ประมาณ 0.5 ถึง 20 ไมครอน ไว้บนพื้นผิวที่เป็นผลึกเดี่ยว กระบวนการเอพิแทกซีเป็นขั้นตอนสำคัญในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการผลิตแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน

ความแตกต่างที่สำคัญระหว่าง epitaxy และการสะสมของชั้นอะตอม (ALD) อยู่ในกลไกการเจริญเติบโตของฟิล์มและสภาพการดำเนินงาน Epitaxy หมายถึงกระบวนการของการปลูกฟิล์มบางผลึกบนพื้นผิวผลึกที่มีความสัมพันธ์การวางแนวเฉพาะการรักษาโครงสร้างผลึกเดียวกันหรือคล้ายกัน ในทางตรงกันข้าม ALD เป็นเทคนิคการสะสมที่เกี่ยวข้องกับการเปิดเผยสารตั้งต้นไปยังสารตั้งต้นทางเคมีที่แตกต่างกันตามลำดับเพื่อสร้างชั้นอะตอมหนึ่งฟิล์มในแต่ละครั้ง

การเคลือบ CVD TAC เป็นกระบวนการในการสร้างการเคลือบที่มีความหนาแน่นและทนทานบนพื้นผิว (กราไฟท์) วิธีนี้เกี่ยวข้องกับการฝาก TaC ลงบนพื้นผิวของซับสเตรตที่อุณหภูมิสูง ส่งผลให้ได้การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ที่มีเสถียรภาพทางความร้อนและทนต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยม

เมื่อกระบวนการเพิ่มขึ้นของซิลิกอนคาร์ไบด์ขนาด 8 นิ้ว (SIC) ผู้ผลิตกำลังเร่งเปลี่ยนจาก 6 นิ้วเป็น 8 นิ้ว เมื่อเร็ว ๆ นี้ในเซมิคอนดักเตอร์และ Resonac ประกาศการอัปเดตเกี่ยวกับการผลิต SIC ขนาด 8 นิ้ว