ข่าวอุตสาหกรรม

พื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์มีข้อบกพร่องมากมายและไม่สามารถประมวลผลได้โดยตรง ฟิล์มบางคริสตัลบาง ๆ ที่เฉพาะเจาะจงจะต้องเติบโตบนพวกเขาผ่านกระบวนการ epitaxial เพื่อสร้างเวเฟอร์ชิป ฟิล์มบางนี้เป็นเลเยอร์ epitaxial อุปกรณ์ซิลิคอนคาร์ไบด์เกือบทั้งหมดได้รับการรับรู้บนวัสดุ epitaxial วัสดุ epitaxial ที่เป็นเนื้อเดียวกันซิลิกอนคุณภาพสูงเป็นพื้นฐานสำหรับการพัฒนาอุปกรณ์ซิลิกอนคาร์ไบด์ ประสิทธิภาพของวัสดุ epitaxial โดยตรงจะเป็นตัวกำหนดประสิทธิภาพของประสิทธิภาพของอุปกรณ์ซิลิคอนคาร์ไบด์

ซิลิคอนคาร์ไบด์กำลังปรับเปลี่ยนอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการใช้พลังงานและการใช้งานอุณหภูมิสูงด้วยคุณสมบัติที่ครอบคลุมตั้งแต่พื้นผิว epitaxial ไปจนถึงการเคลือบป้องกันไปจนถึงยานพาหนะไฟฟ้าและระบบพลังงานหมุนเวียน

ความบริสุทธิ์สูง: ชั้น silicon epitaxial ที่ปลูกโดยการสะสมไอสารเคมี (CVD) มีความบริสุทธิ์สูงมากความเรียบของพื้นผิวที่ดีขึ้นและความหนาแน่นของข้อบกพร่องที่ต่ำกว่าเวเฟอร์แบบดั้งเดิม

Solid Silicon Carbide (SIC) ได้กลายเป็นหนึ่งในวัสดุสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากคุณสมบัติทางกายภาพที่เป็นเอกลักษณ์ ต่อไปนี้คือการวิเคราะห์ข้อดีและคุณค่าในทางปฏิบัติตามคุณสมบัติทางกายภาพและการใช้งานเฉพาะในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ (เช่นผู้ให้บริการเวเฟอร์หัวฝักบัวแหวนโฟกัสแกะสลัก ฯลฯ )