ข่าวอุตสาหกรรม

การเคลือบ CVD TAC เป็นกระบวนการในการสร้างการเคลือบที่มีความหนาแน่นและทนทานบนพื้นผิว (กราไฟท์) วิธีนี้เกี่ยวข้องกับการฝาก TaC ลงบนพื้นผิวของซับสเตรตที่อุณหภูมิสูง ส่งผลให้ได้การเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ที่มีเสถียรภาพทางความร้อนและทนต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยม

เมื่อกระบวนการเพิ่มขึ้นของซิลิกอนคาร์ไบด์ขนาด 8 นิ้ว (SIC) ผู้ผลิตกำลังเร่งเปลี่ยนจาก 6 นิ้วเป็น 8 นิ้ว เมื่อเร็ว ๆ นี้ในเซมิคอนดักเตอร์และ Resonac ประกาศการอัปเดตเกี่ยวกับการผลิต SIC ขนาด 8 นิ้ว

บทความนี้จะแนะนำการพัฒนาล่าสุดในเครื่องปฏิกรณ์ CVD ผนังร้อน PE1O8 ที่ออกแบบใหม่ของบริษัท LPE ของอิตาลี และความสามารถในการดำเนินการ epitaxy 4H-SiC ที่สม่ำเสมอบน SiC ขนาด 200 มม.