ข่าว

Veteksemicon โดดเด่นที่งาน Shanghai SEMICON International Exhibition ปี 2025 ซึ่งเป็นผู้นำแห่งอนาคตของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ด้วยเทคโนโลยีที่เป็นนวัตกรรม

ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขณะที่ขนาดอุปกรณ์ยังคงหดตัวลงเทคโนโลยีการสะสมของวัสดุฟิล์มบางทำให้เกิดความท้าทายอย่างไม่เคยปรากฏมาก่อน การสะสมชั้นอะตอม (ALD) เป็นเทคโนโลยีการสะสมฟิล์มบางที่สามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำในระดับอะตอมได้กลายเป็นส่วนที่ขาดไม่ได้ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ บทความนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อแนะนำการไหลของกระบวนการและหลักการของ ALD เพื่อช่วยให้เข้าใจบทบาทที่สำคัญในการผลิตชิปขั้นสูง

เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสร้างวงจรรวมหรืออุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์บนชั้นฐานที่เป็นผลึกที่สมบูรณ์แบบ กระบวนการ epitaxy (epi) ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีเป้าหมายที่จะสะสมชั้นผลึกเดี่ยวละเอียด ซึ่งโดยปกติจะอยู่ที่ประมาณ 0.5 ถึง 20 ไมครอน ไว้บนพื้นผิวที่เป็นผลึกเดี่ยว กระบวนการเอพิแทกซีเป็นขั้นตอนสำคัญในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการผลิตแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน