ข่าว

บทความนี้ส่วนใหญ่จะอธิบายถึงโอกาสในการใช้งานที่กว้างของเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ นอกจากนี้ยังมุ่งเน้นไปที่การวิเคราะห์สาเหตุของการเผารอยแตกในเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์และโซลูชั่นที่สอดคล้องกัน

เทคโนโลยีการแกะสลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มักประสบปัญหา เช่น เอฟเฟกต์การโหลด เอฟเฟกต์ร่องไมโคร และเอฟเฟกต์การชาร์จ ซึ่งส่งผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ โซลูชันการปรับปรุงประกอบด้วยการปรับความหนาแน่นของพลาสมาให้เหมาะสม การปรับองค์ประกอบของก๊าซปฏิกิริยา การปรับปรุงประสิทธิภาพของระบบสุญญากาศ การออกแบบเค้าโครงการพิมพ์หินที่เหมาะสม และการเลือกวัสดุหน้ากากแกะสลักและสภาวะกระบวนการที่เหมาะสม